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主要特點:
高性能,低成本,手動型桌面旋涂機
旋涂與微機控制功能(旋涂、停止、斜坡加速、減速)
高旋轉精度±1RPM(無負載)
多功能工藝參數、工步設置
適用各種不同的大小和形狀的基片,通過改變CHUCK實現編程簡單易操作。
#愛姆加電子設備