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一、什么是薄膜與厚膜?
薄膜,thin film,一般以nm為單位,是非常薄的膜層。對(duì)于厚膜與薄膜,沒(méi)有非常嚴(yán)格的定義,我將厚度在1000nm(1um)以內(nèi)的膜層歸為薄膜。薄膜由于其相對(duì)較小的厚度和尺寸,通常可以被視為二維形式的物質(zhì),只能附著在基材上。
厚膜,thick film,一般以u(píng)m為單位。厚度遠(yuǎn)大于薄膜,大約在幾微米到幾十微米之間。厚膜不完全需要基材,可獨(dú)立制作。
二、薄膜與厚膜的區(qū)別?
應(yīng)用區(qū)別——薄膜主要應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏,光學(xué),液晶領(lǐng)域中。而厚膜主要應(yīng)用在無(wú)源電子元件(如電阻器、電容器和電感器),單片機(jī),傳感器,混合集成電路等領(lǐng)域。
制作工藝區(qū)別——常見(jiàn)的薄膜沉積技術(shù)包括物理氣相沉積(PVD),化學(xué)氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),外延等。厚膜常用絲網(wǎng)印刷,噴涂,旋涂,電鍍等方式制作。
精度區(qū)別——由于薄膜層較薄,通常精度和準(zhǔn)確度更高,從而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度較低。
成本區(qū)別——厚膜制造工藝簡(jiǎn)單,成本較低,適合更廣泛的應(yīng)用。而薄膜制造需要昂貴的機(jī)臺(tái)與維護(hù)成本。
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