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刻蝕機(jī)可根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)分為干法刻蝕機(jī)和濕法刻蝕機(jī)。濕法刻蝕機(jī)是指利用溶液的化學(xué)反應(yīng)來進(jìn)行蝕刻。濕法刻蝕機(jī)通常根據(jù)工作方式的不同分為靜態(tài)刻蝕機(jī)和動態(tài)刻蝕機(jī)。靜態(tài)刻蝕機(jī)使用旋轉(zhuǎn)或振動平臺將樣品暴露在刻蝕液中，進(jìn)行慢速腐蝕，適用于刻蝕尺寸較大、較厚的樣品。而動態(tài)刻蝕機(jī)則采用更快地流速，使刻蝕液在樣品表面形成更強(qiáng)烈的刻蝕作用，適用于刻蝕尺寸較小、壁