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勻膠/顯影機(jī)是線性模塊配置的全自動(dòng)設(shè)備，任意兩個(gè)相鄰模塊之間都需要一個(gè)晶片的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，所以晶片的模塊間準(zhǔn)確快速傳送就顯得格外重要。為了實(shí)現(xiàn)不同模塊之間晶片的平穩(wěn)轉(zhuǎn)移和取放，
一個(gè)簡(jiǎn)易機(jī)械手的開(kāi)發(fā)顯得尤為重要。該機(jī)械手應(yīng)該能完成左右旋轉(zhuǎn)和上下升降兩個(gè)功能，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而可靠，同時(shí)造價(jià)較低，并能實(shí)現(xiàn)完全的國(guó)產(chǎn)化。

新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種勻膠顯影機(jī)用機(jī)械手裝置，該機(jī)械手結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠而又合理，操作維修非常方便，且造價(jià)較低。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是膠顯影機(jī)用機(jī)械手裝置，包括主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機(jī)械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)；主軸外側(cè)設(shè)有套筒，小齒輪II由旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，小齒輪II與大齒輪I通過(guò)皮帶傳動(dòng)，大齒輪I通過(guò)連接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過(guò)底板，大齒輪II與主軸上部連接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部連接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機(jī)械手通過(guò)連接部件連接的小齒輪I與大齒輪II之間通過(guò)皮帶傳動(dòng)。

所述皮帶上下可以設(shè)有張緊輪；所述支座內(nèi)開(kāi)有與真空管、機(jī)械手相通的通道，主軸為中空軸，需要傳送的晶片置于機(jī)械手上表面，通過(guò)真空吸附裝置、主軸、真空管、支座，從機(jī)械手底部將晶片吸附于機(jī)械手上表面。

所述支座為“⊥”形，其內(nèi)通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向通過(guò)軸承配合。

本實(shí)用新型絲杠與升降電機(jī)連接，絲杠穿過(guò)提升板，與提升板螺紋傳動(dòng)配合；同時(shí)，主軸、導(dǎo)向桿穿過(guò)提升板，形成對(duì)提升板的三點(diǎn)定位。

本實(shí)用新型位置檢測(cè)開(kāi)關(guān)安裝在提升板上，與位于提升板右側(cè)的極限位檢測(cè)片配合完成機(jī)械手上下位的檢測(cè)。

本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)電機(jī)和升降電機(jī)可以為同步電機(jī)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是
1、本實(shí)用新型晶片在機(jī)械手上放置的中心點(diǎn)總是在一條直線上運(yùn)動(dòng)，且移動(dòng)距離可調(diào)。

2、本實(shí)用新型機(jī)械手配有真空吸附，輔助晶片定位，確保晶片在移動(dòng)中不發(fā)生偏移。

3、本實(shí)用新型機(jī)械手的上下移動(dòng)和左右旋轉(zhuǎn)均由步進(jìn)馬達(dá)實(shí)現(xiàn)，靠脈沖個(gè)數(shù)的給定來(lái)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的重復(fù)定位精度。

4、本實(shí)用新型可以擁有良好的人機(jī)交互界面，對(duì)機(jī)械手進(jìn)行監(jiān)控。

5、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠而又合理，操作維修非常方便，且造價(jià)較低。