勻膠、刮膠、彎月面涂膠方法的區(qū)別
一、旋涂（spin coater）：
對(duì)于大尺寸的基板是很難實(shí)現(xiàn)勻膠的，所以人們想出一種叫刮膠，這種工藝相對(duì)比較差點(diǎn)，但對(duì)于用戶來說，可以滿足他們的需求就OK了，所以這種對(duì)膠厚及膠膜要求不高的工藝還是可以滿足的，同時(shí)刮膠的成本相對(duì)比較低點(diǎn)（相對(duì)于大尺寸），同時(shí)國外對(duì)于全息光柵的勻膠是很的，所以他們基片是用旋涂的方式，如全球最大ＪＹ的全息光柵，這個(gè)公司的光柵也是不便宜的，可是他們目前能做到的尺寸也是很牛的，如現(xiàn)在基片是他們能做到1050×570×50mm的基板尺寸，他們采購是超大的旋涂工藝，因?yàn)樗麄兓旧献龅娜⒐鈻攀怯迷谲姽し矫妫苄≡谑袌?chǎng)上流通，對(duì)于他們的技術(shù)也是很少在網(wǎng)上能看到，所以他們做一塊全息光柵的成本也高，但這個(gè)市場(chǎng)的需求很少，同時(shí)價(jià)格也昂貴，初步預(yù)估一塊在合人民幣在1000萬元以下。因?yàn)橛玫牟ＡФ蓟旧系韧贙9玻璃或高于K9玻璃的質(zhì)量，所以質(zhì)量是非常重的，這里面就考慮到了運(yùn)動(dòng)慣量的特性，如果一臺(tái)旋涂機(jī)的主軸電機(jī)慣量不在匹配的范圍內(nèi)，所以是無法轉(zhuǎn)動(dòng)起來的。同時(shí)安全系數(shù)很重要，對(duì)是超出１米的直徑的基板，旋轉(zhuǎn)起來的的線速度完全是高于我們生活中見的子彈飛的速度還要高，可想安全必須得到保障的。
但在在咱們國內(nèi)基片是用的涂膠是刮涂，所以質(zhì)量也上不去，同時(shí)也沒有見過國外的涂膠設(shè)備，所以還是用最低段的方法，這個(gè)完全不能責(zé)怪每個(gè)搞科研的人員，因?yàn)榇蟪叽缁旧嫌迷谲姽ぃ悦總€(gè)國家對(duì)這方面是保密或有限制，同時(shí)在國內(nèi)的五大研究所也不會(huì)進(jìn)行技術(shù)方面的交流，我們愛姆加公司做到國內(nèi)相對(duì)大尺寸的旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)，但是他們對(duì)這方面的技術(shù)以及工藝等等是不會(huì)進(jìn)行交流的。所以這個(gè)科研的成果是不會(huì)分享的！
是這全息光柵的旋涂光阻測(cè)量設(shè)備，同時(shí)也帶檢測(cè)，所以這么貴的工件，基本是機(jī)械手來實(shí)現(xiàn)的。因而配套的裝置也是很多，相對(duì)成本也很高，在國內(nèi)的研究機(jī)構(gòu)想申請(qǐng)點(diǎn)項(xiàng)目，就一臺(tái)旋涂勻膠機(jī)把所有的經(jīng)費(fèi)用完了，還玩什么。所以用刮膠的相對(duì)就多。
二、刮涂設(shè)備（Slot Die Coater）：
國內(nèi)現(xiàn)在好多大尺寸的都用刮涂設(shè)備，因?yàn)樗麄円不旧虾苄∫娺^大尺寸的旋涂、以及成本等方面的考量，對(duì)于刮涂工藝是國內(nèi)基本上都叫這個(gè)名字，但是還有一個(gè)術(shù)名叫狹縫涂膠機(jī)（國外的英語名：Slot Die Coater），不管叫什么名字，原理是一樣的，所以這種方種對(duì)于部份行業(yè)是可用的，同時(shí)也完全滿足要求，但是相對(duì)于半導(dǎo)體、顯示器、全息光柵的涂膠工藝是完全不能達(dá)到指標(biāo)了，部份廠商還在用，說明他們的產(chǎn)品質(zhì)量是無法提高的，也是性能指標(biāo)不會(huì)提高的。刮涂膠的主要的工件是膠刀，日本翻譯過來叫液刀，對(duì)這個(gè)液刀對(duì)于清清、吹干的刀，又是完全兩個(gè)層面的要求，以下是液刀的圖片。
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