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一、產品描述：

       此涂膠機設備，及勻膠機的涂布工藝是通過液體的漲力特性實現，先前國處的麻森理工大學將此裝置主要用于軍工的科研涂膠工藝，國外主要是用于大尺寸的K9玻璃的涂膠工藝，因為大尺寸的玻璃、超重量的基板很難用旋轉工藝實現，所以就采用此裝置 ，此設備主要用于涂布較薄光阻工藝，一般不會超過1微米厚的光阻。

二、特點：        

1、相對于旋轉涂膠工藝的話，在工藝方面還是不如SPINcoater涂布工藝好；

2、但對于光阻的提拉涂膠工藝是完全優于的，也省光阻、減少工藝工序；

3、目前國內比較普遍使用的是刮涂涂膠工藝，刮涂的工藝對光阻的成膜水平不高，對于光柵可能也到了極限；

4、鋼帶光柵涂膠設備省光阻.

三、重要指標：  

1、大尺寸、超重理的K9玻璃涂膠工藝就可以實現

2、光阻的適應范圍有限,光刻膠的成膜是均勻性在+/-3%左右（相對于CP值低于15CP的光阻）；

3、長度方面沒有限制，尤其是鋼帶的長度，寬度方面不益過長