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旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫涂膠的對(duì)比
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作者:pmoe2a7d5
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發(fā)布時(shí)間: 2020-03-27
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勻膠機(jī)（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對(duì)比： Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。 從其原理來(lái)說(shuō)，勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。 （1）旋轉(zhuǎn)速度 轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。 （2）真空吸附系統(tǒng) 真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。 Ｂ： 狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機(jī)太陽(yáng)能電池OPV和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池PVK等基材的涂布，非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應(yīng)用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等。 狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片 涂布模具相對(duì)于基片精確地運(yùn)動(dòng)，并精確檢測(cè)控制工藝流體及其涂布速度。
勻膠機(jī)（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對(duì)比：
Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥?，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
從其原理來(lái)說(shuō)，勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
（1）旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
（2）真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
Ｂ：
狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機(jī)太陽(yáng)能電池OPV和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池PVK等基材的涂布，非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應(yīng)用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等。
狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片
涂布模具相對(duì)于基片精確地運(yùn)動(dòng)，并精確檢測(cè)控制工藝流體及其涂布速度。
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