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      半自動(dòng)勻膠機(jī)，用于小方形基片及尺寸為□50.8×50.8mm晶圓片,可兼容6英寸晶圓；厚度都0.15-1.5mm基片完成自動(dòng)滴膠、甩膠、勻膠工藝。

     設(shè)備主要由主軸單元、自動(dòng)供給系統(tǒng)（光刻膠）、排風(fēng)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成，

     采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼鏡面護(hù)板，工作方式為手動(dòng)上下片，自動(dòng)完成工藝。

     主軸電機(jī)采用進(jìn)口交流伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速度控制精度高，重復(fù)性、穩(wěn)定性好。 

    多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制，使涂膠工藝條件達(dá)到，以形成均勻性理想的膠膜，滿足 光刻工藝要求。

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• 勻膠單元 　　　　　　　　        1個(gè)

•  離心機(jī)額定轉(zhuǎn)速：                      0～6000RPM

• 轉(zhuǎn)速調(diào)整量：   　                         1rpm

• 轉(zhuǎn)速精度：         　                       ±1rpm（500--5000rpm）

• 加速度：           　                         20000rpm/s

• 加速度調(diào)整量：  　                     1RPM/S

• 承片臺(tái)(chuck)材料：            　     防靜電PEEK材質(zhì)(兩個(gè))

• 與晶片接觸方式 ：　　            真空吸附

• 吸附真空度檢測： 　　            數(shù)顯壓力傳感器