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自動(dòng)QD噴涂設(shè)備
量子點(diǎn)專用噴膠設(shè)備，主要用于在晶圓表面噴涂甲苯，設(shè)備密封；
同時(shí)可噴涂四個(gè)基片，相不污染。自動(dòng)運(yùn)行完成噴膠工藝。
設(shè)備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成。
同時(shí)可噴涂四個(gè)基片，相不污染。自動(dòng)運(yùn)行完成噴膠工藝。
設(shè)備主要由旋轉(zhuǎn)熱板系統(tǒng)、噴嘴掃描系統(tǒng)、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成。
來源:
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作者:pmoe2a7d5
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發(fā)布時(shí)間: 2024-01-11
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（1） 二流體扇面噴頭：自動(dòng)擺動(dòng)旋轉(zhuǎn)噴液加背洗功能，兩路液體加流量計(jì)。
（2） 旋轉(zhuǎn)電機(jī)：轉(zhuǎn)速要求：0~5000rpm，旋涂步驟、旋涂速度、加速度可自由編輯
（3） 腔體內(nèi)配置手動(dòng)開啟清洗程序按鈕（帶防誤觸蓋子）
（4） 腔體外配置腳踏板開關(guān)：開關(guān)清洗單元真空的腳踏板開關(guān)，點(diǎn)動(dòng)開啟，點(diǎn)動(dòng)關(guān)閉
（5） 腔體外配置排廢閥和廢液桶收集清洗后的廢液（和噴涂單元廢液桶分開）。
中國西安市未央?yún)^(qū)石化大道南徐寨工業(yè)園愛姆加電子
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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