晶圓甩干機(jī)(SRD)介紹
晶圓甩干機(jī)(spin rinse dryer,SRD)，是一種常見的半導(dǎo)體清洗后干燥的方法，用途十分廣泛，了解半導(dǎo)體制程的小伙伴應(yīng)該不會(huì)陌生。具體來說，晶圓在濕化學(xué)過程后需要清洗和干燥，SRD可以對(duì)整個(gè)晶圓進(jìn)行自動(dòng)處理。
1.SRD工作原理:SRD的工作是漂洗和干燥晶圓舟中的成批晶圓。晶片通常被裝入不銹鋼滾筒或腔室中，然后在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)注入DI(去離子水)以沖洗掉先前工藝步驟中遺留下來的顆粒。晶圓的干燥通常是通過以大約3000-10,000rpm的速度旋轉(zhuǎn)晶片，同時(shí)將加熱的氮?dú)庾⑷肭皇抑小．?dāng)然，靜電會(huì)在干燥時(shí)積聚，這可能會(huì)使顆粒粘附在表面上，甚至損壞一些精密設(shè)備，可以通過靜電消除部件來減少該類現(xiàn)象的發(fā)生。 SRD設(shè)備的一些關(guān)鍵功能和特點(diǎn):配有一個(gè)電阻率探針，可以監(jiān)測(cè)腔室內(nèi)的化學(xué)濃度，以確保化學(xué)物質(zhì)的去除。電阻率是一種衡量物質(zhì)對(duì)電流的阻礙程度的指標(biāo)。在SRD設(shè)備中，如果沖洗水的電阻率下降，這可能意味著水中的化學(xué)物質(zhì)濃度增加，也就是說，還有化學(xué)溶液殘留在晶圓表面。通過監(jiān)測(cè)電阻率，可以確保沖洗過程，從而提高清洗的質(zhì)量。
2，配備氮?dú)饧訜崞鳎梢赃M(jìn)行無斑點(diǎn)干燥。氮?dú)馐且环N惰性氣體，不會(huì)與晶圓表面的材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，因此可以防止在干燥過程中對(duì)晶圓造成任何化學(xué)損害。當(dāng)?shù)獨(dú)獗患訜岷螅淇梢愿行У匚站A表面的水分，從而提高干燥的效率。另外，由于加熱的氮?dú)饬骺梢詫?duì)晶圓表面形成一個(gè)均勻的熱流，這有助于保證晶圓干燥的均勻性，防止在晶圓表面形成水斑。因此，氮?dú)饧訜崞魇荢RD設(shè)備中一個(gè)重要的配置，可以幫助提高半導(dǎo)體清洗后的干燥效果和質(zhì)量。
3，可編程的recipes(配方)。"recipe"指的是設(shè)備操作的一系列參數(shù)和步驟，這些參數(shù)和步驟會(huì)影響到設(shè)備的性能和處理結(jié)果。Recipe可以包括很多種不同的設(shè)置，例如沖洗時(shí)間、干燥時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、氮?dú)獾牧魉俸蜏囟鹊取Ｍㄟ^調(diào)整這些設(shè)置，可以優(yōu)化設(shè)備的操作，以適應(yīng)不同的清洗需求和目標(biāo)。
以下是一些常見的recipe考慮因素:
沖洗時(shí)間:沖洗時(shí)間的長(zhǎng)短會(huì)影響到化學(xué)溶液的去除效果。如果沖洗時(shí)間過短，可能會(huì)有化學(xué)溶液殘留在晶圓表面;如果沖洗時(shí)間過長(zhǎng)，則可能會(huì)造成資源浪費(fèi)。
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