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旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫涂膠的對比
來源:
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作者:pmoe2a7d5
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發(fā)布時間: 2020-03-27
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勻膠機（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比： Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。 從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。 （1）旋轉(zhuǎn)速度 轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國際認定標準，如美國NIST標準等。 （2）真空吸附系統(tǒng) 真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)。 Ｂ： 狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等。 狹縫涂布技術適用于各種涂布液，可廣泛應用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片 涂布模具相對于基片精確地運動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。
勻膠機（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比：
Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。
（1）旋轉(zhuǎn)速度
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