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愛姆加電子設(shè)備
勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商
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Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
8/12英寸全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
發(fā)布時(shí)間: 2020-08-03 14:54
設(shè)備組成：片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元（HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊
模塊根據(jù)要求選配
供膠及顯影可定制。
此設(shè)備主要由片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元（HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊）部份附件以及控制系統(tǒng)組成。
勻膠單元(SPIN COT UNIT)：
1.根據(jù)工藝選配數(shù)量(COT-DEV-OVEN-HMDS)
2.EBR&BSR 功能可選
顯影單元(DEV UNIT)：
根據(jù)工藝選配數(shù)量可選
熱板烘單元(OVEN UNIT)：
根據(jù)工藝選配數(shù)量
供液系統(tǒng)：膠路，顯影均勻選配
中國(guó)西安市未央?yún)^(qū)石化大道南徐寨工業(yè)園愛姆加電子
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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