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勻膠機(jī)、顯影機(jī)晶圓承載片,材料為PEEK,可為客戶訂制靜電CHUCK同時(shí)些CHUCK設(shè)計(jì)防背面液體進(jìn)入主軸電機(jī)為客戶訂制機(jī)械固定方式
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